標準形ＵＬＰＡ
アトモスミクロフィルタは、粒子径0.1μmクラスの微粒子ダストを99.9995%捕集する性能を持っています。高い捕集効率にもかかわらず、圧力損失は低く、ろ過面積が大きいので、粉塵保持量が大きく寿命が長くなっています。
標準形超ＵＬＰＡ
超ULPAを超える捕集効率を持つ当社の最高捕集効率品。0.1μm粒子において捕集効率 99.99999%（7N）以上。
多風量計形超ＵＬＰＡ
0.1μmの対象粒子を99.99995%（6N5）以上捕集する超ULPA。
